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BG用テープリムーバー

RAD-3010F/12(300mmフルオートBG用テープリムーバー)

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  • RAD-3010F/12 (PDF:209KB)
1.理想的なテープ剥離を実現
BG用表面保護テープをウェハから剥離する際に理想的な180°ピール方式を採用。ウェハにかかるストレスを最小限に抑えてテープの剥離を行うため、薄型ウェハの処理にも対応します。
2.ウェハ回路面へのダメージを低減
BG用表面保護テープ剥離時に用いる剥離用テープは、ウェハ外周3mm以内の表面保護テープ上に熱圧着されるため、剥離用テープ貼付によるウェハ回路面へのダメージ、のり残りを低減します。
3.優れたコストパフォーマンス
ウェハサイズが変わっても剥離用テープの使用量は常に一定で経済的。また剥離用テープは熱圧着タイプのため、BG用表面保護テープ上に残ったシリコンダストの有無にかかわらず確実な貼付が可能です。
4.UVの照度、光量を自動コントロール
内蔵センサーにより、UVの照度、光量を一定に保つようフィードバック制御を行います。これによりランプ寿命まで照度を一定に保つことができ、UV硬化型BG用表面保護テープを使用した際にも、安定したテープ剥離が行えます。
オプション
  • ホストコミュニケーション機能
    (通信方式:SECS-I、HSMS準拠、ソフト:GEM準拠)
  • レシピ選択用バーコードリーダー

RAD-3010F/12(UV硬化型表面保護テープ使用時) 動作プロセス

A.ウェハの供給・検索・取り出し
ウェハスキャンセンサーによってウェハの収納状態を自動検出。3軸動作が可能なロボットアームにより、UVユニットへ搬送されます。
B.UV照射
チャンバー内のウェハは均一にUV照射が行われたあとに、アライメントコンベヤーによってアライメント部に運ばれます。
C.ウェハアライメント
ウェハはオリフラまたはVノッチを基準にアライメントされ、搬送アームで剥離テーブル上にセットされます。
D.表面保護テープ剥離
剥離用テープはウェハの外周3mm以内に熱プレートによって熱圧着され、BG用表面保護テープをウェハから180°の角度で剥離します。
E.ウェハ収納
はがされたBG用表面保護テープと剥離用テープはダストボックスに、ウェハはロボットアームによってカセット内にそれぞれ収納されます。

RAD-3020F/12 (300mmフルオートBG用テープリムーバー)

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  • RAD-3020F/12 (PDF:193KB)
1.新剥離方式により、剥離時にウェハへかかる応力を低減
独自のヒートシール方式を採用し、剥離用テープをウェハ外周3mm以内のBG用表面保護テープ上に熱圧着させ、BG用表面保護テープをウェハから180°の角度で剥離するため、ウェハへかかる応力を最小限に抑えます。最新剥離機構を搭載しているため、さらに安定した剥離を実現します。
2.ウェハ裏面非接触でのBG用表面保護テープ剥離を実現
ウェハを保持するテーブルを独自構造とすることで、裏面非接触でのBG用表面保護テープ剥離が可能です。
3.裏面非接触ウェハハンドリング方式を採用
パワーデバイスやTSVなどの裏面処理されたウェハに対し、裏面非接触でのウェハ搬送が可能なため、接触による汚染がありません。
オプション
  • ホストコミュニケーション機能
    (通信方式:SECS-I、HSMS準拠、ソフト:GEM準拠)
  • 前工程対応クリーン仕様

RAD-3000F/8(200mmフルオートBG用テープリムーバー)

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  • RAD-3000F/8 (PDF:210KB)
1.理想的なテープ剥離を実現
BG用表面保護テープをウェハから180°の角度で剥離するピール方式の採用により、ウェハにかかるストレスを最小限に抑えることが可能です。
2.UVの照度、光量を自動コントロール
内蔵センサーによりUVの照度、光量を一定に保つようフィードバック制御することにより、UV硬化型BG用表面保護テープを使用した際にも、安定したテープ剥離が可能です。
オプション
  • ホストコミュニケーション機能
    (通信方式:SECS-I、HSMS準拠、ソフト:GEM準拠)

RAD-3000m/12R(300mmセミオートBG用テープリムーバー)

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  • RAD-3000m/12R (PDF:185KB)
1.コンパクト設計の高性能マシン
アセンブリー工程における小ロット生産および研究開発に活用できるマシンです。300mmウェハ対応ながらコンパクトなマシン設計の実現により、作業空間の有効活用が可能です。
  • ウェハ単体およびリングフレーム付きウェハ共に対応可能です。
2.簡単操作のセミオートマシン
ウェハを剥離テーブルにセットしたあとは、簡単な入力操作だけで剥離用テープの貼付、BG用表面保護テープ剥離が自動的に処理されます。
3.安定したBG用表面保護テープ剥離を実現
フルオートマシン同様、剥離用テープはウェハ外周3mm以内のBG用表面保護テープ上に熱圧着され、BG用表面保護テープをウェハから180°の角度で剥離するため、ウェハにかかるストレスを最小限に抑えることができ、薄型ウェハの処理にも対応します。
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リンテック株式会社 アドバンストマテリアルズ事業部門
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